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更新时间:2026-11-05
浏览次数:25关闭抽真空阀,关闭所有出气阀;向炉膛充入保护气(N₂),充到 0.04~0.05 MPa(表压),停止进气;
记录压力表初始值,静置 30 min;
判断标准(参考,可写进合同)
✅ 优秀:压降<0.005 MPa / 30 min,适合高要求、氢气氛、高纯烧结
✅ 合格常规款:压降<0.01 MPa / 30 min,普通氮气、氩气烧结够用
⚠️ 不合格:压降很快、持续掉压,存在明显漏点
查漏点:肥皂水(中性发泡液)刷炉门法兰、真空规、进气接头、排气口、接线贯穿件、观察窗、泄压阀基座;持续冒泡=漏点。
注意:氢气工况不建议肥皂水试漏,优先氢检仪。
关闭进气、出气,启动真空泵抽至目标真空(一般抽到 -0.095 MPa);关闭抽气阀,停泵;
记录真空度,计时 30 min,观察压力回升;
常规气氛箱式:30 min 回升 ≤0.01 MPa → 合格;
高真空版本(罗茨机组)要求更严,按设备指标;
如果压力快速上涨,大漏;缓慢爬升属于放气 + 微漏,要区分:纤维放气 ≠ 密封泄漏
重点区分:刚抽完真空初期压力小幅上涨,很多是炉膛保温材料放气,不是密封漏;稳定后继续匀速爬升才是泄漏。
适合已经上机做烧结的客户:多次抽真空洗气之后,充入惰性气,稳定后看微量氧仪表:
氧含量稳定维持在几十 ppm 以内,且长时间不持续走高 → 密封性良好;
氧含量慢慢持续上涨,说明外界空气持续渗入,存在慢漏。
氦气作为示踪气体,氦检仪定量检漏,是氢气炉、高真空炉验收金标准:
在炉膛内部充入低压氦气,外部探头扫法兰、焊缝、接头;
指标参考:
普通气密气氛炉:漏率 ≤ 1×10⁻⁷ Pa・m³/s
氢气防爆款 / 高真空款:≤ 1×10⁻⁸ Pa・m³/s优点:能定位微小慢漏(肥皂水、保压看不出来的微渗,长期通氢、长期真空洗气会越来越明显);缺点:设备贵,一般出厂验收用,客户现场很少配。
炉门密封 O 圈:压紧不均匀、有粉尘 / 烧结挥发物卡在密封面、密封圈老化、局部挤压破损(最高发)
法兰焊缝:炉体焊接缺陷(出厂漏焊、砂眼)
各个贯穿件:真空规座、热电偶压套、进出气接头、压力变送器、观察窗
泄压阀、单向阀:阀芯污染、关不严,形成反向渗漏
水冷法兰水道与气腔串漏(隐蔽漏):冷却水渗入炉膛,或者炉膛气体窜进水冷回路
❌ 热态保压测试不能用来验收高温下法兰、炉壳膨胀,密封面受力变化;高温保压合格 ≠ 冷态不漏;验收一律冷态。
❌ 把保温纤维放气当成泄漏新炉、长期放置的炉,第一次抽真空,保温氧化铝 / 莫来石纤维吸附水汽、气体释放,真空回升快;解决:多次抽放、烘炉之后再做保压测试。
❌ 微正压保压,泄压阀起跳造成掉压保压压力不要超过泄压开启压力,不然会误判泄漏。
❌ 密封圈沟槽里面残留粉体、挥发物很多炉子出厂保压合格,客户烧结几次之后开始慢漏,就是样品挥发物沉积在密封面。
表格
| 等级 | 测试方式 | 判定标准(冷态 30 min) | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| 普通气密款 | 真空保压 | 压力回升 ≤0.01 MPa | N₂、Ar,常规陶瓷烧结 |
| 高气密款 | 真空 / 正压保压 | 压力回升 ≤0.005 MPa | 高纯粉体、微量氧敏感材料 |
| 防爆氢气款 | 氦检 | 漏率 ≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s | H₂、氮氢混合气还原 |
有粉尘卡密封面:拆开,清洁法兰平面、O 圈槽,更换密封圈;
炉门压紧不均匀:调整多点手轮,对角均匀压紧;
焊缝砂眼:补焊后再次氦检;
阀件内漏:更换单向阀、泄压阀。
| 方法 | 怎么判断 | 适用场景 |
|---|---|---|
| 正压保压测试 | 充氮气至0.02~0.03MPa,关闭进气阀,保压2小时,压力表不下降或下降很小,说明密封性好 | 新炉验收、维修后、怀疑漏气时 |
| 真空保压测试 | 抽真空后关闭阀门,观察压力回升速率,回升越慢密封性越好 | 带真空泵的气氛炉 |
| 肥皂水检漏 | 在炉门、法兰、接头处涂肥皂水,冒泡处即为漏点 | 定位漏点 |
| 运行观察 | 炉内压力保持不住、氧含量偏高、气氛浓度异常,可能漏气 | 日常工艺监控 |
冷态下进行:炉温降至室温,关闭所有进气阀和排气阀。
充入氮气:缓慢加压至0.02~0.03MPa(不超过设备允许上限)。
关闭气源:关闭进气阀,隔离压力源。
保压观察:保持2小时,观察压力表是否偏转。
判定:压力不下降或下降极小,密封性良好;若明显下降,需排查漏点。
空炉抽真空:关闭所有阀门,抽至设备能达到的极限真空度。
关闭真空泵:隔离真空系统。
记录压力回升:静置一段时间,记录压力随时间的变化。
判定:压升率越小越好,真空热处理炉一般要求压升率≤0.7Pa/h。
压力表:微正压运行时,压力应稳定在设定范围,不会持续下降。
氧含量:通氮气/氩气后,氧含量应能降至10ppm以下并稳定;若氧含量偏高或持续上升,可能漏气。
流量计:维持微正压所需流量异常偏大,可能说明漏气严重。
真空度:抽真空时真空度达不到要求,或保压时压力回升过快,说明密封不良。
炉门密封圈:老化、变形、有异物是最常见原因,清洁或更换密封条。
法兰和接头:检查真空管路、进气口、排气口接头是否松动。
水冷法兰:确认水冷通畅,密封面是否平整。
阀门:检查进气阀、排气阀、真空阀是否关严。
真空泵:检查泵油是否乳化、管路是否漏气。
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