一、前期准备

1. 关闭所有进气、排气阀门，炉门锁紧，确认水路、真空泵正常；

2. 准备工具：真空压力表 / 数显真空计、秒表、肥皂水（或专用检漏液）、手电筒；

3. 分两种场景：冷态检漏（常温，出厂 / 日常维保必做）、热态检漏（升温后，模拟实际烧结工况）。

二、方法一：真空保压法（精度最高，推荐）

1. 冷态保压检漏（常温）

1. 启动真空泵，将炉膛抽至设备标称极限真空（如3×10−2 Pa、10−1 Pa）；

2. 关闭真空总阀，停止真空泵（隔绝泵体干扰），开始计时；

3. 观察真空计压力回升，按容积判定合格标准：

通用判定标准（实验室箱式气氛炉）

• 补充：若用于超低氧高纯烧结（残氧＜5ppm），要求更严：15min 内压力回升＜30 Pa。

• 不合格表现：压力快速上涨，短时间回到常压 → 存在明显漏点。

2. 热态保压检漏（核心！高温炉必测）

1. 冷态完成保压，确认无明显漏点；

2. 关闭真空阀，启动加热，升温至常用最高工艺温度（如 1000℃/1400℃/1700℃），保温 30min；

3. 恒温状态下计时，观察真空压力变化；

4. 判定：压力回升速率和常温基本一致 → 高温密封正常；压力陡增 → 高温形变 / 密封件失效。

三、方法二：皂泡检漏法（精准找漏点，配合保压使用）

1. 炉内抽至负压（−0.06∼−0.08 MPa 即可，无需高真空），关闭阀门；

2. 把肥皂水 / 专用检漏液均匀涂抹在所有密封部位：

• 炉门密封圈、炉门锁紧面；

• 真空法兰、气路接头、水冷接口、观察窗、取样口；

• 炉体焊接缝、管路螺纹处；

3. 观察：

• 无气泡产生 → 该位置密封完好；

• 缓慢冒出细泡 / 持续鼓泡 → 此处就是漏点。

注意：高温状态严禁用肥皂水，仅常温使用；1700℃高温炉重点检查水冷法兰位置。

四、方法三：气氛置换 + 氧含量监测（模拟实际烧结工艺）

1. 常规流程：预抽真空 → 充入高纯氮气 → 反复置换 2~3 轮；

2. 停止抽真空、停止进气，炉膛维持 ** 微正压（0.02~0.05MPa）** 密闭静置；

3. 选配在线氧分析仪监测炉内氧含量：

• 静置 30min，氧含量涨幅＜2ppm → 密封优良，氮气保护效果稳定；

• 氧含量持续快速上升 → 外界空气渗入，密封失效，样品会氧化。

五、方法四：目视 & 手感简易排查（日常快速巡检，不用工具）

1. 看：炉门胶条有无老化、开裂、脱落、变形；法兰螺丝是否松动、缺失；管路有无裂纹。

2. 摸：炉门、法兰接缝处（常温下），感受有无气流窜出（正压状态下）。

3. 听：抽真空 / 通氮气时，倾听接缝处有无 “嘶嘶" 漏气声。

六、不同漏况对应的问题 & 处理方案

1. 冷态、热态保压都合格✅ 密封性正常，可正常开展氮气烧结。
2. 常温不漏，一升温就漏气原因：炉体刚性不足、高温热胀变形；密封件无水冷，高温老化失效。处理：检查水冷系统是否通畅；紧固高温区法兰螺栓；更换耐高温密封件。
3. 保压压力缓慢回升（慢漏）原因：微小缝隙、阀门内漏、管路接头微渗。处理：皂泡法定点检漏，重新紧固接头；定期巡检即可，一般不影响常规烧结。
4. 保压瞬间回压、抽不住真空原因：炉门未关严、主密封件破损、管路断裂、阀门损坏。处理：立即停机，重新锁紧炉门；更换密封胶圈 / 垫片；检修真空阀、管路。

七、配套使用 & 维保建议（针对 1700℃高温氮气炉）

1. 检测频次

• 每日实验前：目视 + 简易保压（5min）快速检查；

• 每周：完整冷态保压检漏；

• 每月：热态高温检漏 + 全管路皂泡检漏。

2. 密封件维护

   1400℃/1700℃高温炉必须使用水冷密封结构，严禁普通橡胶圈长期高温使用；密封件属于易损件，6~12 个月按需更换。